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產品分類: UVW相位臺
產品名稱: WNGAS02系列
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特性介紹

? 採用了劃時代性模組結構的超薄型平臺

在基座、工作臺之間的四端平面裝上組合了MINI STAGE XYθ軸滑臺組和特殊交叉滾柱軸承的模組之獨特性,實現了超薄型結構。

? 高剛性、高精度

對于構成模組的MINI STAGE XYθ軸滑臺組的特殊交叉滾柱施加了預壓,達到高精度、高剛性的結構。

? 超薄型、輕量化、中空結構

採用XYθ模組化結構,實現了無中座、薄而輕的機構,可作為光學式檢查裝置或導通測試時使用。

? 潤滑系統

在各種運動軌道加入潤滑系統,確保潤滑脂補充,提高對位平臺使用的壽命及精度。

? 尺寸齊全 適用各種機型運用

工作臺面尺寸口100mm~口1500mm,為了可以對應更大的精度荷載,可藉由增加從動模組之數量來達成。


型號

工作臺面尺寸 (mm)

基座尺寸 (mm)

行程 (mm)

水平負載能力 (kgf)

WNAS02-400CC

400x400

500x500

±10x±10

105

WNAS02-400RS

400x400

500x500

±10x±10

130

WNAS02-500CC

500x500

600x600

±10x±10

105

WNAS02-500RS

500x500

600x600

±10x±10

130

WNAS02-750CC

750x750

850x850

±10x±10

105

WNAS02-750RS

750x750

850x850

±10x±10

130


產業應用介紹

?  面板貼合機

?  面板貼膜機

版及3D版印刷

?  玻璃側角及磨邊設備

?  Wafe對位設備

?  P.C.D曝光設備

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